Το Microelectronics Clearroom είναι ένα ειδικό περιβάλλον παραγωγής για τη διασφάλιση της ποιότητας και της αποτελεσματικότητας των προϊόντων στη βιομηχανία μικροηλεκτρονικών. Για αυτό το έργο λαμβάνονται υπόψη πολλοί παράγοντες όπως ο καθαρισμός του αέρα, η θερμοκρασία, η υγρασία, ο ηλεκτροστατικός έλεγχος και ο έλεγχος θορύβου και ούτω καθεξής.
Διαφορετικές κατηγορίες βιομηχανιών εφαρμογών καθαρής αίθουσας μικροηλεκτρονικών:
1.Κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων
- ISO 1 - 3: χρησιμοποιείται συχνά στην πιο προηγμένη διαδικασία φωτοχαρακτικής, χάραξης και άλλων, που απαιτούν εξαιρετικά υψηλό έλεγχο των μικροσκοπικών σωματιδίων και μια ελαφρά μόλυνση μπορεί να οδηγήσει σε ελαττώματα στο τσιπ.
- ISO 4 - 5: Κατάλληλο για εναπόθεση λεπτής μεμβράνης, εμφύτευση ιόντων και άλλες διαδικασίες στην κατασκευή τσιπ, και έχει επίσης αυστηρές απαιτήσεις ελέγχου σωματιδίων.
2.Δοκιμή ενθυλάκωσης ημιαγωγών
- ISO 6 - 7: Μπορεί να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις των περισσότερων συνδέσμων δοκιμής συσκευασίας, όπως συσκευασία τσιπ, λειτουργική δοκιμή κ.λπ.
3. Κατασκευή οθονών πάνελ
- ISO 5 - 6: Χρησιμοποιείται στην επικάλυψη και την έκθεση στην κατασκευή πάνελ LCD.
4. Κατασκευή ηλεκτρονικών εξαρτημάτων
- ISO 7 - 8: χρησιμοποιείται για την παραγωγή ηλεκτρονικών εξαρτημάτων με σχετικά χαμηλές περιβαλλοντικές απαιτήσεις, όπως αντιστάσεις, πυκνωτές κ.λπ.
Εν ολίγοις, όσο υψηλότερη είναι η κατηγορία του καθαρού δωματίου, τόσο λιγότερος είναι ο αριθμός των αιωρούμενων σωματιδίων στον αέρα που μπορούν να ελεγχθούν, τόσο πιο καθαρό είναι το περιβάλλον και τόσο πιο κατάλληλο για μικροηλεκτρονικές διαδικασίες παραγωγής που απαιτούν εξαιρετικά αυστηρά περιβάλλοντα παραγωγής. Ωστόσο, το καθαρό δωμάτιο κατώτερης κατηγορίας είναι κατάλληλο για διαδικασίες παραγωγής που απαιτούν σχετικά χαλαρό περιβάλλον.
Βασικές συσκευές του συστήματος καθαρισμού αέρα του microelectronics cleanroom:
1.Φίλτρο αέρα
- Πρωτεύον φίλτρο απόδοσης: χρησιμοποιείται κυρίως για το φιλτράρισμα μεγαλύτερων σωματιδίων, όπως σκόνη, τρίχες κ.λπ., για να παίξει έναν προκαταρκτικό ρόλο στον καθαρισμό του αέρα.
- Φίλτρα μεσαίας απόδοσης: φιλτράρουν μεσαίου μεγέθους σωματιδιακούς ρύπους και βελτιώνουν περαιτέρω την καθαριότητα του αέρα.
- Φίλτρο HEPA: η βασική συσκευή για την επίτευξη υψηλής καθαριότητας έχει υψηλή απόδοση φιλτραρίσματος για σωματίδια άνω των 0.3 microns
- Φίλτρο εξαιρετικά υψηλής απόδοσης (φίλτρο ULPA): για 0.1 - 0.3 micron σωματίδια η απόδοση του φιλτραρίσματος μπορεί να είναι πάνω από 99,999% και χρησιμοποιείται συχνά σε μέρη με εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας.
2.Ανεμιστήρας
- Υπεύθυνος για την οδήγηση της ροής του αέρα, κάνοντας τον αέρα να περνά μέσα από το φίλτρο και να κυκλοφορεί στο καθαρό δωμάτιο.
3.Αγωγός
-χρησιμοποιείται για τη μεταφορά φιλτραρισμένου αέρα για την εξασφάλιση ομοιόμορφης κατανομής του αέρα σε όλους τους χώρους του καθαρού δωματίου.
4. Μονάδα χειρισμού φρέσκου αέρα
- Εισάγετε καθαρό αέρα έξω, φιλτράρετε τον και προσαρμόστε τη θερμοκρασία και την υγρασία για να καλύψετε τις ανάγκες του καθαρού δωματίου.
5. Μονάδα καθαρισμού αέρα
-ενσωματώστε μια ποικιλία λειτουργιών καθαρισμού και προετοιμασίας, όπως φιλτράρισμα, αποστείρωση, αφύγρανση, ύγρανση και ούτω καθεξής.
6. Θάλαμος στατικής πίεσης
-σταθεροποιεί τη ροή του αέρα, μειώνει τις αναταράξεις και τον θόρυβο της ροής αέρα και εξασφαλίζει ομοιόμορφη ροή αέρα μέσω των φίλτρων.
7. Σιγαστήρας
- Μειώστε τον θόρυβο που δημιουργείται από τους ανεμιστήρες και τη ροή του αέρα, παρέχοντας ένα ήσυχο περιβάλλον εργασίας
8. Αισθητήρες και ελεγκτές διαφορικής πίεσης
- Παρακολουθήστε τη διαφορά πίεσης μεταξύ διαφορετικών περιοχών του καθαρού δωματίου για να διασφαλίσετε ότι ο αέρας ρέει σε μια προκαθορισμένη κατεύθυνση για να αποτρέψετε τη διασταυρούμενη μόλυνση των ρύπων.
Αυτές οι συσκευές συνεργάζονται για να διασφαλίσουν ότι η ποιότητα του αέρα του μικροηλεκτρονικού καθαρού δωματίου φτάνει την απαιτούμενη κατηγορία καθαριότητας.
Βασικά βήματα και τεχνικά σημεία της μηχανικής μικροηλεκτρονικών καθαρών χώρων:
1. Σχεδιασμός: σύμφωνα με τη διαδικασία παραγωγής και τις απαιτήσεις, καθορίστε την τάξη καθαρού δωματίου, την περιοχή, τη διάταξη κ.λπ. και τα συστήματα φωτισμού θα πρέπει να ληφθούν υπόψη.
2.Δομή κτιρίου: θα πρέπει να έχει καλή απόδοση σφράγισης και θερμομόνωσης για να μειώσει την επίδραση του εξωτερικού περιβάλλοντος στο εσωτερικό. Ταυτόχρονα, είναι απαραίτητο να χρησιμοποιηθούν υλικά που δεν δημιουργούν εύκολα σκόνη και στατικό ηλεκτρισμό, όπως ανοξείδωτο ατσάλι και κράμα αλουμινίου.
3. Σύστημα καθαρισμού αέρα: είναι ένα βασικό μέρος της μηχανικής καθαρού χώρου μικροηλεκτρονικών. Συνήθως, φίλτρα υψηλής απόδοσης, ανεμιστήρες, αεραγωγοί και άλλες συσκευές χρησιμοποιούνται για την αφαίρεση σκόνης, βακτηρίων, ιών και άλλων ρύπων στον αέρα των εσωτερικών χώρων, έτσι ώστε ο αέρας να φτάσει σε ένα ορισμένο επίπεδο καθαριότητας.
4. Σύστημα κλιματισμού: πρέπει να μπορεί να ελέγχει την εσωτερική θερμοκρασία, την υγρασία και τη διαφορά πίεσης για να ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις της διαδικασίας παραγωγής. Ταυτόχρονα, εξοικονόμηση ενέργειας και φιλικός προς το περιβάλλον εξοπλισμός και τεχνολογία κλιματισμού θα πρέπει να υιοθετηθεί για τη μείωση του λειτουργικού κόστους.
5. Ηλεκτροστατικός έλεγχος: η διαδικασία παραγωγής μικροηλεκτρονικών είναι επιρρεπής στην παραγωγή στατικού ηλεκτρισμού που θα επηρεάσει την ποιότητα του προϊόντος. Ως εκ τούτου, είναι απαραίτητο να ληφθούν μέτρα στατικής εξάλειψης, όπως η χρήση στατικών εξολοθρευτών, η τοποθέτηση αντιστατικών δαπέδων κ.λπ.
6. Έλεγχος θορύβου: Ο θόρυβος θα επηρεάσει την αποτελεσματικότητα της εργασίας και την υγεία του προσωπικού, επομένως πρέπει να ληφθούν μέτρα ελέγχου του θορύβου, όπως η χρήση ηχομονωτικών υλικών, η τοποθέτηση σιγαστών κ.λπ.
7. Σύστημα φωτισμού: θα πρέπει να είναι σε θέση να παρέχει επαρκή φωτεινότητα και ομοιομορφία για να καλύψει τις απαιτήσεις της παραγωγικής διαδικασίας. Ταυτόχρονα, θα πρέπει να υιοθετηθεί εξοπλισμός και τεχνολογίες φωτισμού εξοικονόμησης ενέργειας και φιλικών προς το περιβάλλον για τη μείωση του λειτουργικού κόστους.
8. Διαχείριση προσωπικού και υλικών: η είσοδος και η έξοδος προσωπικού και υλικών θα υπόκεινται σε αυστηρή διαχείριση και έλεγχο για τη μείωση της εισαγωγής εξωτερικών ρύπων. Ταυτόχρονα, το προσωπικό θα πρέπει να εκπαιδεύεται ώστε να βελτιώνει τις γνώσεις καθαριότητας και τις επιχειρησιακές του δεξιότητες.
9. Δοκιμή και επαλήθευση: μετά την κατασκευή του καθαρού δωματίου, θα πρέπει να πραγματοποιηθεί δοκιμή και επαλήθευση για να διασφαλιστεί ότι η απόδοση του καθαρού δωματίου πληροί τις απαιτήσεις σχεδιασμού, που περιλαμβάνουν καθαρότητα αέρα, θερμοκρασία, υγρασία, διαφορά πίεσης, στατικό ηλεκτρισμό κ.λπ.
Συμπερασματικά, η μηχανική μικροηλεκτρονικών καθαρών χώρων είναι ένα πολύπλοκο σύστημα που απαιτεί πολλούς παράγοντες. Μόνο με την υιοθέτηση προηγμένης τεχνολογίας και εξοπλισμού μπορεί να κατασκευαστεί ένα καθαρό δωμάτιο που να πληροί τις απαιτήσεις.
Δημοφιλείς Ετικέτες: microelectronics cleanroom, Κίνα προμηθευτές microelectronics cleanroom, κατασκευαστές, εργοστάσιο
